[19p-C101-1~12] 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して

[19p-C101-7] 集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム

〇伊藤 浩之¹、山根 大輔¹、小西 敏文¹、道正 志郎¹、石原 昇¹、町田 克之¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、益 一哉¹ (1.東工大)

キーワード：慣性センサ、加速度センサ、CMOS-MEMS

本グループでは，マイクロGオーダーの測定が可能な小型慣性センサと応用技術の創出を目的とした研究を推進している．デバイス・回路技術としては，集積化CMOS-MEMS技術や，高密度なAu錘を用いたMEMSセンサ技術，低雑音回路技術により，従来技術では達成困難な高い分解能の実現を目指している．本発表では，加速度センサの高分解能化に向けた課題と，サブ1mGの分解能を実現したAu錘MEMS加速度センサ技術や発振器型センサ回路技術を中心に紹介する．