[19p-E202-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～格子欠陥はどこまで制御できるのか：先端評価と機能探索～

[19p-E202-3] 窒化物混晶半導体中の結晶欠陥および組成変調の解析

〇冨谷 茂隆¹、蟹谷 裕也¹ (1.ソニー)

キーワード：窒化物半導体、結晶欠陥、透過電子顕微鏡

本講演では、GaInN混晶半導体やp型不純物であるMgをドープしたGaNエピタキシャル膜において観察される結晶欠陥や組成揺らぎを、透過電子顕微鏡や3次元アトムプローブによって解析した事例を紹介しながら、窒化物半導体材料以外の事例とも対比しつつ、窒化物半導体における結晶欠陥の制御について、現状の課題と今後の展開について述べる。