[19p-F210-1~16] 6.6 プローブ顕微鏡

[19p-F210-3] 元素イメージングXANAMの現状 I

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：放射光X線、元素分析、非接触原子間力顕微鏡

表面／界面のナノ構造を個々に識別しながら、元素・化学状態を特定する手法として「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。元素像取得方法について、原理的確認や力成分分析に用いたフォーススペクトルによる方法や、より迅速な計測方法の検討を行ってきた。本発表では、これまでの成果をまとめながら、最近のNi/HOPG試料について行った簡便な元素イメージング方法の追求に関する検討について報告する。