[19p-P11-1~31] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[19p-P11-28] Development of hydrogen gas sensor using single-crystalline ZnO layer grown by sputter epitaxy

〇Toshiya Kumei¹, Shota Nakamichi¹, Asuka Fujikawa¹, Kohei Ogura¹, Tomoki Shinta¹, A-i Mizuno¹, Ki Ando¹, Hiroyuki Shinoda¹, Nobuki Musukura¹ (1.Tokyodenki Univ.)

Keywords:ZnO layer, sputter, hydrogen gas sensor

本研究では超高真空高周波マグネトロンスパッタ法を用いてZnO単結晶層の成長を行った．ガスセンサ用の材料としてこの単結晶層を用いることで従来のガスセンサと比較して高感度な検出が期待できる．今回はH₂ガスセンサを作製しその感度特性について検討を行った．