[19p-P2-1~9] 1.6 超音波

△ [19p-P2-7] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによる圧電性Ta₂O₅薄膜の評価

〇(M1)末永 凌大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、大橋 雄二²、荒川 元孝²、櫛引 淳一² (1.山梨大学、2.東北大学)

キーワード：弾性表面波、超音波材料解析システム

直線集束ビーム超音波材料解析(LFB-UMC)システムを用いて、合成石英ガラス基板上にX軸配向圧電性Ta₂O₅薄膜を成膜した試料上に伝搬する漏洩弾性表面波(LSAW)の位相速度と伝搬減衰の測定を行った。薄膜の弾性特性は作製条件に強く依存することから、LFB-UMCの位相速度の測定値と理論値の間には相違が見られた。今後、Ta₂O₅薄膜の材料定数を再算定し、LFB-UMCの伝搬減衰の測定値から、減衰の理論値を差し引くことで音響損失を評価する。