2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

1 応用物理学一般 » 1.6 超音波

[19p-P2-1~9] 1.6 超音波

2018年3月19日(月) 13:30 〜 15:30 P2 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

△ [19p-P2-8] ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

〇澤田 直弥1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大工)

キーワード：弾性表面波デバイス、ScAlN薄膜