[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-8] フッ素含有DLC膜のX線照射と昇温による脱離過程の比較

〇神田 一浩¹、福室 直樹² (1.兵庫県立大高度研、2.兵庫県立大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン膜、軟X線、昇温脱離スペクトル

ダイヤモンドライクカーボン膜の軟X線照射による脱離過程を昇温脱離過程と比較して議論を行った。高水素化DLC膜では軟X線照射でも昇温においても水素分子の脱離が主である。一方、フッ素化DLC膜では軟X線照射ではフッ化炭素の脱離が主であるのに対し、昇温脱離ではフッ素・炭素が単独で脱離し、フッ化炭素はほとんど脱離せず、異なる脱離過程を経ることが明らかとなった。