[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-9] 圧縮下における非晶質炭素膜の電気伝導挙動

〇(BC)鈴木 貴大¹、小畑 修二¹、本間 彰彦¹、平栗 健二¹、大越 康晴¹ (1.電大)

キーワード：非晶質炭素膜、電気伝導挙動

グラフェン，カーボンナノチューブ およびカーボンブラックの電気抵抗値は，圧縮下において，グラファイトよりも高い値を示す．しかし，グラファイト粉体のみでは，この挙動によるヒステリシスの影響が大きく，電子デバイスとしては問題となる．そこで本研究では，グラファイト成分を含み，非晶質構造による膜強度の高さからヒステリシスによる影響の減少が見込まれるDLC膜について，圧縮下における電気伝導挙動について評価した．