[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-P5-20] 圧力勾配型プラズマガンを用いた近赤外高透過導電性 IWO 膜の作製

〇近藤 裕佑¹、橋本 典晃²、古谷 英二²、筧 芳治¹、森 隆志¹、山田 義春¹、田中 剛¹ (1.大阪技術研、2.中外炉工業(株))

キーワード：透明導電酸化物、圧力勾配型プラズマガン、IWO