[19p-P5-1~39] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [19p-P5-37] ベイズ最適化を活用した成膜条件探索システムの構築

〇(M1)小林 成¹、清水 亮太^1,2、安藤 康伸³、西尾 和記¹、一杉 太郎¹ (1.東工大物質理工、2.JST さきがけ、3.産総研)

キーワード：ベイズ最適化、固体電解質、リチウムイオン電池

実験の効率化に向けた取り組みが急務である。ベイズ最適化とロボット搬送システムを組み合わせれば、全自動で薄膜作製条件の最適化が可能であり、生産性向上に非常に有効だと考えられる。そこで我々のグループでは、そのような成膜システムを新たに構築し、高速な薄膜材料合成を目指している。その例として本報告ではLi₃PO_4-xN_y薄膜のイオン伝導度を、ベイズ最適化を用いて最大化する試みについて紹介する。