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[19p-P5-7] 高周波基板バイアススパッタ法により転移温度を低下させたZnO/glass上VO2薄膜の光学特性
キーワード:二酸化バナジウム、酸化亜鉛、スパッタ法
二酸化バナジウムは68℃付近で赤外光領域光透過率が変化する材料であり, スマートウィンドウなどへの応用が期待されている. しかし、転移温度が高いことが, 実用化への一つの障壁となっている. 我々は基板バイアススパッタ法により, ZnO/glass上VO2薄膜において転移温度の低温化に成功している. 本講演はその光学特性などについて発表を行う.