[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-11] 天然膨張黒鉛シート上に作製したAlNの評価

〇村川 星斗¹、山口 晃生¹、井上 崇²、岡野 寛¹ (1.香川高専、2.東洋炭素)

キーワード：窒化アルミニウム、天然膨張黒鉛シート

我々は天然膨張黒鉛シート(以下黒鉛シート)を基板としたLED発光素子について検討している。これまでに、黒鉛シート上にMBE法により結晶成長したGaNがPL発光することを報告してきた。しかし、サファイアを基板として使用した場合と比べると発光強度は弱い。高性能化のためにはGaNの結晶品質の向上が必要である。本研究では、種々の条件で作製した黒鉛シート上にAlNを作製し、バッファ層としての評価を行った。