[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-16] 触媒反応支援CVD 法による非極性ZnO 結晶膜の光学特性

〇(M1)齋藤 太朗¹、池田 宗謙¹、加藤 有行¹、大石 耕一郎²、片桐 裕則²、安井 寛治¹ (1.長岡技科大、2.長岡工業高専)

キーワード：触媒反応、非極性ZnO、偏光特性

触媒反応により生成した高エネルギーH₂Oを用いたCVD法によりr面サファイア基板上に非極性ZnO膜の成長を行った．得られた膜の励起光の結晶軸に対する偏光角依存性、および発光の偏光角依存性を調べた結果, 励起光及び発光共に強い角度依存性が見られた．AFM像からc軸方向に長く，[1-100]軸方向に短いストライプ構造が見られた．発光の強い偏光角依存性はこのドメイン構造に由来していると考えられる．