[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-6] 第一原理計算による窒化物圧電体Sc_xAl_1-xN合金の構造評価

〇江藤 和也¹、山田 浩志^1,2、上原 雅人^1,2、秋山 守人² (1.九大総理工、2.産総研)

キーワード：圧電体、第一原理計算、高周波フィルタ