[20a-B303-1~11] 7.2 電子ビーム応用

[20a-B303-3] SEM搭載電子源としてのGOS型電界電子放射陰極

〇宮路 丈司^1,2、村上 勝久²、長尾 昌義²、根尾 陽一郎¹、三村 秀典¹ (1.静大電研、2.産総研)

キーワード：グラフェン、電界放射陰極、走査電子顕微鏡