[20a-C103-1~11] 6.4 薄膜新材料

[20a-C103-8] スパッタ成膜MoS2の酸化により形成される酸化Moの評価

〇小林 進大¹、武田 さくら¹、米田 允俊¹、大門 寛¹、若林 整² (1.奈良先端大、2.東工大)

キーワード：二硫化モリブデン、XPS、XRD