[20a-C204-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [20a-C204-12] レーザー援用スパッタリングによるZnOナノ粒子の生成

〇若木 航¹、三瓶 明希夫¹、蓮池 紀幸¹、鴨居 督² (1.京工繊大、2.京都府中小企業技術センター)

キーワード：酸化亜鉛、レーザー援用スパッタ、ナノ粒子

本研究ではZnOのRFスパッタリング中に532nmのグリーンレーザーを援用することでZnO薄膜上にZnOナノ粒子を生成することに成功した。13.56MHzの対向電極板のRFスパッタリングで通常見られない構造をSEMやAFMで解析した。ナノ粒子の平均粒径は26nmで、粒子個数は約27個/μm²であった。。今後、ナノ粒子における波長の依存性などについての解析を目指す。