[20a-C304-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[20a-C304-8] 熱絶縁された細線の抵抗上昇を利用したAlNの熱伝導率測定

〇(M1)秋葉 孔¹、五井 悠仁¹、池田 浩也¹、佐藤 弘明¹、大和 亮²、詹 天卓²、渡邊 孝信²、松川 貴³、猪川 洋¹ (1.静岡大、2.早稲田大、3.産総研)

キーワード：熱伝導率、窒化アルミニウム

熱電発電素子や熱型光検出器の性能評価を行う上で、構成材料の熱伝導率を把握することは非常に重要である。今回、絶縁性と高い熱伝導性を兼ね備える材料として期待されるAlN薄膜の面内方向（横方向）に伝わる熱伝導率κを、熱絶縁された細線の通電に伴う抵抗値の上昇から測定したので報告する。