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△ [20a-E202-9] その場観察X線回折測定を用いたAlGaN/GaNヘテロ構造評価
キーワード:その場観察X線回折測定、窒化アルミニウムガリウム
HEMT構造やGaN系のLEDのクラッド層に用いられるAlGaN/GaNヘテロ構造を高品質化することは、これらの素子の高効率、高輝度化に向けて必要不可欠である。本研究グループでは、その場観察X線回折測定の半値全幅の変化により、ミスフィット転位による緩和過程を報告してきた。本発表では、実験値とフィッティング関数の誤差を表すχ2パラメータを導入、CLやTEMの結果と比較を行い、より詳しい緩和過程の解析を行った。