[20a-P5-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-P5-1] SiO₂ のカリウム不純物の原子構造と電子構造

〇宮島 岳史¹、白川 裕規¹、洗平 昌晃^2,1、白石 賢二^2,1 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：第一原理計算、SiO2、カリウム

MOSFETにおいて、NaやKは金属汚染として知られる。一方、近年では絶縁体中の金属原子を機能的に利用するデバイスの研究も行われている。振動型MEMS発電デバイスの固体イオンエレクトレットの作成にはSiO₂中に混入したカリウム原子が利用されているが、その原理は分かっていない。本研究では、密度汎関数理論に基づく第一原理計算を用いて、カリウム原子が混入した際のSiO₂を解析し、エレクトレットの原理を明らかにする。