[20p-B401-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20p-B401-12] 光誘起起電力を示す薄膜アルミニウム電源の複製を目指した光ナノインプリント技術におけるlift-off processの検討

〇矢野 春菜¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：リフトオフプロセス、光ナノインプリント、メタマテリアル

本研究では、電子線リソグラフィに比べ、可視光の波長サイズの構造体の複製が短時間に行える光ナノインプリントリソグラフィに着目し、薄膜アルミニウム電源の複製と大面積化を図るためのlift-off processを検討した。犠牲層を用いるadditive法を基にしたlift-off processでは、Alが両性金属であるため、酸やアルカリ水溶液を良溶媒とする犠牲層を用いることが困難である。そこで本研究では、溶媒に可溶な犠牲層を用いたlift-off processを検討した。