[20p-C202-1~7] 17.3 Layered materials

[20p-C202-5] SnS₂ growth and its gas-sensing application

〇Kenjiro Hayashi^1,2, Masako Kataoka¹, Jippo Hideyuki^1,2, Mari Ohfuchi^1,2, Taisuke Iwai¹, Shintaro Sato^1,2 (1.Fujitsu Lab., 2.Fujitsu)

Keywords:SnS2, Gas sensor, 2D material

スズと硫黄の化合物である二硫化スズ（SnS₂）は、アセトアルデヒド（CH₃CHO）やアセトンなどの揮発性有機化合物（VOC）に対してsub-ppmオーダーの検出感度を示すことが過去に報告された。今回、我々はSnS₂がホルムアルデヒド（HCHO）に対してppbオーダーの高い感度を持つことを見出した。NO_XやSO_Xといった無機ガス対応のセンサーと組み合わせることで、多ガス検出による環境モニタリングを目的としたマルチセンサーアレイへの応用が期待できる。