09:45 〜 10:00 △ [20a-C309-4] 溶液塗布熱分解法によるHf0.5Zr0.5O2薄膜の作製 〇(M2)井上 泰一1、大田 宗司1、中村 領太1、広藤 裕一1、小山 政俊1、小池 一歩1、矢野 満明1 (1.大阪工大ナノ材研)