16:00 〜 18:00 [18p-PB4-9] 多機能走査型プローブ顕微鏡によるSiC-ショットキーバリアダイオードの評価 3 〇(M1)中山 敬太1、増田 翔1、佐藤 宣男1、山本 秀和1 (1.千葉工大工)