14:30 〜 14:45 [19p-E305-4] マイクロ波励起プラズマを用いた原子層堆積SiO2膜の電気特性改善におけるO2プラズマの役割 〇鈴木 俊哉1、Holm Niklas1、Kilpi Väinö1、Blomberg Tom1 (1.Picosun Oy)