16:00 〜 18:00 [18p-PA4-7] ベンゼン-N2-Ar混合気体高周波プラズマを用いた高窒素含有a-CNx:H薄膜の合成と構造解析 〇家老 克徳1、伊藤 治彦1、斎藤 秀俊1 (1.長岡技科大工)