[18a-E303-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-E303-1] シリコン表面上における二成分系有機物の吸着・脱離過程の温度依存性

堀 健太¹、〇金井 友彦¹、羽深 等¹ (1.横国大院理工)

キーワード：吸着・脱離、有機物

半導体シリコン表面における有機物の吸着・脱離については、室温付近の僅かな温度変化にも依存性を示すこと、有機物が二成分系のとき有機物の気中濃度の変化に対して非可逆的挙動を示す場合があることが知られている。そこで我々は、二成分系における有機物の吸着・脱離の非可逆的挙動の温度依存性を把握することを試みた。本報では、フタル酸ジエチル(DEP)およびメントン(Mth)の二成分系について詳細を報告する。