[18a-E311-1~9] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18a-E311-5] 非平衡励起反応場による二次元高機能性酸化膜の非加熱形成

〇下位 法弘¹、田中 俊一郎¹ (1.東北大)

キーワード：非平衡励起反応場、酸化亜鉛

ボトムアップ型アーキテクチャーとしてプラズマ・電子線の非平衡励起反応場に着目し、酸化物粒子を構成する原子・分子集団を動かし非加熱かつシンプルなプロセスで薄膜型ナノコンポジット構造を創成する技術を確立する。本研究では、非平衡励起反応場を用いた酸化亜鉛ナノ粒子の接合による界面現象および架橋メカニズムを解明し、プラスチックフィルム上への酸化亜鉛薄膜の非加熱形成および電気特性制御を試みる。