[18p-E101-1~7] 窒化物半導体特異構造の科学　～新機能性の発現と電子・光デバイスへの展開～

[18p-E101-7] ワイドギャップ半導体を用いた新規波長変換デバイスの開発 －極性反転導波路と微小共振器－

〇片山 竜二¹、上向井 正裕¹、谷川 智之¹ (1.阪大工)

キーワード：ワイドギャップ半導体、波長変換素子、量子光学

本講演では、高効率InGaNレーザと波長変換デバイスをモノリシック集積した深紫外レーザならびに小型・安定な光量子コンピュータの実現のコアデバイスとなる横型擬似位相整合および微小共振器位相整合なる新規な超小型波長変換デバイスの動作原理について概説し，デバイス作製に用いた表面活性化ウエハ接合ならびに結晶異方性エッチングプロセス，第二高調波発生の実証実験の結果に加え，関連研究で得られた成果を紹介する．