[18p-N304-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[18p-N304-5] GHzバーストモードフェムト秒ベッセルビーム穴あけ加工時におけるエネルギー付与の時空間制御

〇小幡 孝太郎¹、杉岡 幸次¹ (1.理研　光量子)

キーワード：GHzバーストモード、ベッセルビーム、レーザー加工

１パルスのレーザー光を極短時間で、ひと続きの連続したパルス列として時空間制御を行うバーストモードは、同じ平均出力、繰り返し周波数を持つレーザー光での加工に対してアブレーションレートの向上、アブレーション閾値の低下などが可能である。本研究では、このGHzバーストモードのパルス列と、アキシコンレンズを用いたベッセルビームを組み合わせ、穴あけ加工時におけるレーザーエネルギー付与の時空間制御依存性を検討した。