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△ [18p-N304-9] 加工モルフォロジーとローカルフルーエンス分布の直接比較による解析手法の開発
キーワード:レーザー加工、超短パルスレーザー
加工レーザーのローカルフルーエンスを直接的に加工モルフォロジーと相関づけることを可能とする、新たな実験手法を紹介する。自作した高空間分解能ビームプロファイラで加工焦点面のビームプロファイルをin-situ測定した。レーザー顕微鏡でex-situで得られた加工後のモルフォロジー情報をこのプロファイルと比較することで、加工穴深さとローカルフルーエンスの相関を明らかにすることが可能となった。