[18p-PA4-1~25] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-PA4-23] 熱処理を施したダイヤモンドウエハの結合状態分析(2)

〇(M2)松本 啓佑¹、飯塚 完司¹ (1.日本工業大学)

キーワード：ダイヤモンドウエハ、X線光電子分光