[18p-PA5-1~22] 6.4 Thin films and New materials

△ [18p-PA5-21] Structure and property modification of epitaxial Ti_xO_y thin films by post-depositional uniaxial compressive annealing

〇(M1)Takahiro Ikuta¹, Yoshiki Horimatsu¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.KISTEC)

Keywords:uniaxial compressive annealing, titanium oxide, epitaxial

酸化チタン(Ti_xO_y)は、TiO₂、Ti₂O₃やマグネリ相Ti_nO_2n-1(n=3〜9)など様々な酸化状態が存在する。マグネリ相を有する還元型チタン酸化物は、酸素欠損型組成制御が難しくエピタキシャル薄膜の研究例は少ない。本研究ではエピタキシャルTi_xO_yの薄膜の作製と結晶相制御を目的として、エピタキシャルTi_xO_y薄膜に対する一軸加圧熱処理(UCA)が結晶相に及ぼす影響を検討した。