[18p-PA5-1~22] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA5-5] W・Nb・Moドープ酸化バナジウム膜の形成と評価

西 純平¹、中村 翔太郎¹、横倉 真美¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：赤外線センサ、ゾル・ゲル法、酸化バナジウム膜

ボロメータ用センサ材料としてW・Nb・Moドープ酸化バナジウム膜の形成をゾル・ゲル法で行い、主に電気的特性の評価を行った。