2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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[18p-PB4-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2019年9月18日(水) 16:00 〜 18:00 PB4 (第二体育館)

16:00 〜 18:00

△ [18p-PB4-4] 酸化膜がSiウェーハ表面近傍の金属原子の安定性と拡散障壁に与える影響

〇(M2)野々田 典敬1、末岡 浩治2 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：Si(001)表面、金属