[19a-B12-1~11] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

△ [19a-B12-11] Cu粉末の表面被覆によるMOF薄膜のマイクロサイズビアへの選択成長

〇(M2)清水 敦史^1,2、木下 健太郎¹、中畝 悠介¹、島 久²、高橋 慎²、内藤 泰久²、秋永 広幸² (1.東理大理、2.産総研ナノエレ)

キーワード：金属有機構造体、HKUST-1

金属有機構造体(MOF)は，ナノ細孔が規則正しく高密度に配列された構造を持つ．この構造は電子デバイスでの利用が期待されているが，MOF合成手法の多くは，絶縁シード層や分厚い金属膜を必要としており，電気伝導や微細化の観点から好ましくない．本研究では，電気伝導と微細化に適したMOFの合成手法を提案する．この手法は，1 um²の金属膜に直接MOFを合成することを可能にし，成長位置の高選択性及び高歩留まり成長が実証された。