[19a-PB1-1~11] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[19a-PB1-2] First-principles calculation of piezoelectric constant in Mg+Me (Me=Cr, Mo, W) doped AlN

〇Kenji Hirata¹, Hiroshi Yamada¹, Sri Ayu Anggraini¹, Masato Uehara¹, Morito Akiyama¹ (1.AIST)

Keywords:piezoelectric material, first-principles calculation, aluminum nitride

本研究では、Mg+Me (Me=Cr, Mo, W)添加AlNにおいて圧電定数を第一原理計算により調査した。Mg+Cr添加の場合、圧電定数はほとんど向上しなかったが、Mg+MoおよびMg+W添加では、添加量の増加に伴い顕著な圧電定数の向上が確認された。Mg+Mo添加AlNでは高濃度の組成域において、Sc添加AlNと同程度の圧電定数が得られることが示唆された。この圧電定数の上昇は圧電応力定数の向上と弾性定数の低下に起因しており、Sc添加AlNと同様の機構であることがわかった。