[19a-PB3-1~25] 13.8 光物性・発光デバイス

[19a-PB3-24] CaF₂/Siヘテロ構造を用いた近赤外波長量子カスケードレーザの作製プロセス

〇(M2)鄭 源宰¹、劉 龍¹、小柳 陽平¹、渡辺 正裕¹ (1.東工大工学院)

キーワード：半導体、量子カスケードレーザ、シリコンフォトニクス