PDF ダウンロード スケジュール 20 いいね! 1 コメント (0) 15:30 〜 15:45 [19p-E305-8] 原子層堆積法を用いたイットリウムシリケート薄膜の形成 〇太田 惇丈1、宋 禛漢1、星井 拓也1、若林 整1、筒井 一生2、角嶋 邦之1 (1.東工大工学院、2.東工大科学技術創成研究院) キーワード:原子層堆積法、イットリウムシリケート