2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.3 層状物質

[19p-E308-1~13] 17.3 層状物質

2019年9月19日(木) 13:15 〜 16:45 E308 (E308)

種村 眞幸(名工大)、有江 隆之(阪府大)

16:00 〜 16:15

[19p-E308-11] スパッタ法で合成したh-BN薄膜とその絶縁特性

近藤 大雄1,2、林 賢二郎1,2、片岡 真沙子1、佐藤 信太郎1,2 (1.富士通研、2.富士通)

キーワード:graphene、h-BN、合成

我々は次世代チャネル材料としてシリコンを凌駕する電子移動度を示すグラフェンの高いポテンシャルに着目し、グラフェン及びグラフェンナノリボンの合成及びデバイス作製プロセス開発を行ってきた。今回、我々はスパッタ法を用いてh-BN薄膜の合成を試みたので詳細を報告する。