[19p-E308-1~13] 17.3 層状物質

[19p-E308-7] 硫化プロセスにおけるスパッタMoS₂膜質向上の重要性

〇今井 慎也¹、濱田 昌也¹、五十嵐 智¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：MoS2、スパッタリング、硫化プロセス