PDF ダウンロード スケジュール 28 いいね! 0 コメント (0) 17:45 〜 18:00 [19p-E310-16] Ⅳ族結晶配向層を用いたガラス基板上への窒化物半導体成長 〇小林 篤1、中野 はるか1、上野 耕平1、藤岡 洋1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL) キーワード:窒化物半導体、スパッタリング