[19p-E318-1~10] 7.1 X線技術

△ [19p-E318-9] EUV光源コレクターミラーの保護膜における劣化メカニズムの解明

〇本田 能之¹、柳田 達哉¹、白石 裕¹、森田 昌幸¹、安藤 正彦¹、戸室 啓明¹、松田 晃史²、吉本 護² (1.ギガフォトン、2.東工大)

キーワード：EUV光源

LPP方式のEUV光源実用化の課題の一つとして、Mo/Si多層膜反射集光鏡表面における保護膜の劣化がある。本報告では、保護膜劣化メカニズムの解明を目的に、コレクターミラーの表面状態を模擬したサンプルを製作し、保護膜とSnデブリの反応性評価を行った。プラズマより飛散し、Si層界面付近にまで侵入したSnデブリが集まり結晶成長する際に、保護膜に粗密が生じることで、保護膜が劣化するものと考えられる。