[19p-PB10-1~22] 13.9 化合物太陽電池

[19p-PB10-12] 同時蒸着法によるCu₂GeS₃薄膜の作製

〇大橋 亮太¹、赤木 洋二²、荒木 秀明¹ (1.長岡高専、2.都城高専)

キーワード：太陽電池、硫化物、薄膜

Cu2GeS3(CGS)薄膜太陽電池に着目し、適した組成を持ち均一で緻密な薄膜の作製を目指し、同時蒸着法を用いてガラス/Mo基板上へのCGS系薄膜の作製を試みた。CuとGeの蒸発源温度を変化させることでCu/Ge組成比を変化させ、その表面形態について調べた。結果として、Geセルの温度の上昇に伴いCu/Ge比が減少した。Cu/Ge組成比に応じて異なる表面形態が観察されたが、いずれも緻密な薄膜が得られた。