[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

[20a-B11-6] 変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス／パワー制御とプラズマ発光分光

〇(M1)中込 雄基¹、渡部 達也¹、平山 睦大¹、兼行 亮輔¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三²、大下 慶次郎³、美斉津 文典³ (1.東京工芸大工、2.（株）アヤボ、3.東北大院理)

キーワード：マグネトロンスパッタリング、プラズマ計測、光学的計測

高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HPPMS）のひとつにアークキング抑制制御に優れた変調パルス電力パルスマグネトロンスパッタリング（MPPMS）がある。これまで本講演会において、マクロ／マイクロパルス個々に特化したパルス設計に対するプラズマ発光の分光計測を通じて、MPPMSプラズマの放電特性について報告してきた。本発表では、マクロ／マイクロパルスの複合的な制御およびパワー制御に対するプラズマ発光の分光計測の結果について報告する。