[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20a-B11-9] 自己吸収型マイクロ放電ホローカソード光源を用いた水素プラズマの真空紫外吸収分光計測

〇清水 奨¹、竹田 圭吾¹、堤 隆嘉²、平松 美根男¹、堀 勝² (1.名城大理工、2.名古屋大学)

キーワード：自己吸収、吸収分光法、真空紫外

プラズマプロセスにおいて、原子状ラジカルはプロセス反応の特徴を決定づける非常に重要な活性種の一つである。そのため、プラズマ中の原子状ラジカルの定量的計測が強く求められている。本研究では、マイクロホローカソード放電における自己吸収現象に着目し、それを利用した原子状ラジカル温度計測の可能性について調査した。