2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.5 イオンビーム一般

[20a-E203-1~12] 7.5 イオンビーム一般

2019年9月20日(金) 09:00 〜 12:15 E203 (E203)

柳沢 淳一(滋賀県立大)、二宮 啓(山梨大)

11:30 〜 11:45

[20a-E203-10] GCIB照射を用いたMoS2の表面改質とエッチング

〇(M1)劔持 将之1、豊田 紀章1 (1.兵庫県大工)

キーワード:ガスクラスターイオンビーム、二硫化モリブデン