[20a-E306-1~12] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[20a-E306-12] リソグラフィ加工による凹凸を持つ無酸素銅電極の真空中絶縁破壊

〇(M1)多田 涼馬¹、星野 鉄哉¹、片桐 創一¹、山納 康^1,2、山本 将博^1,3、伊藤 雅英¹ (1.筑波大数理、2.埼玉大、3.KEK)

キーワード：真空中絶縁破壊、電極表面形状、リソグラフィ加工

放電発生は高電圧機器にダメージを与え，真空中絶縁破壊の耐電圧は電極の表面形状に影響される。先行研究では，表面形状はランダムなものに限られ，耐電圧に影響する形状因子が明確でなかった。そこで我々は、化学機械研磨で凹凸数nmレベルの超平滑面を作成・評価し、さらに、干渉露光とリソグラフィにより，溝形状の定義が容易な周期構造を無酸素銅電極表面に形成した。この電極を用いて真空中ギャップ放電試験を行った。