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[20a-E314-5] 光学イメージによる多結晶Siウエハの結晶方位解析に向けた研究
キーワード:データ科学、多結晶シリコン、結晶方位
太陽電池の主流である多結晶Si太陽電池は現状として、結晶方位分布の測定に長時間を要している。本研究では、データ科学を用いて多結晶Siウエハの結晶方位測定を高速化させるため、結晶方位ごとに結晶粒の反射率が異なるような表面状態を形成する処理を施し、結晶粒の結晶方位と光学的イメージにおける反射特性の相関の解明を試みた。多様な照明条件下で光学的イメージの撮影を行った結果、結晶方位ごとに反射特性に特徴が得られた。