[20a-E317-1~9] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[20a-E317-7] 化学気層研磨法で作製した微細探針による酸化ニッケルナノ微粒子の電子顕微鏡観察下マニピュレーション

〇(M1)磯部 裕也¹、小椋 英里花¹、菅 洋志¹ (1.千葉工大)

キーワード：ナノ微粒子、探針、走査型電子顕微鏡

ナノ粒子の物性を計測する手法として，走査型電子顕微鏡観察下マニピュレーション法が注目されている．近年，マニピュレーション用の探針一本を数秒で作製できる化学気層研磨法が報告されたが，マニピュレーション応用は確認されていない．本研究ではSEM観察下マニピュレーション法で化学気層研磨法にて作製した探針を用いて単一酸化ニッケルナノ微粒子を電極に架橋し，化学気層研磨法で作製した探針の評価を行う．